纳米步进执行器（NSAU）是完全密封的线性执行器，专为在超高真空（UHV）或UItra清洁环境中进行高精度定位而开发。结合了高质量降低和滚珠丝杠的步进电机可提供无反冲的纳米分辨率和高负载能力。电气限位开关和电动机温度感应器是标准集成的，并且即使在断电之后，绝对编码器也可以为用户提供高分辨率的位置反馈和绝对位置信息。