ES-50PM | |
行程(mm) | 10 |
直线度/平面度(μm) | ±4 |
摇摆误差Pitch(μrad) | ±300 |
摇摆误差Yaw(μrad) | ±300 |
自重（g） | 110 |
电机类型 | Piezo Motor |
速度(mm/s) | 5 |
编码器类型 | None(open loop) | Analog (1 Vpp) | Digital(RS-422) |
分辨率典型值(nm) | 1 | 10 | 1 |
重复精度（双向）(nm) | N/A | ±50 | ±50 |
重复精度（单向）(nm) | N/A | 50 | 50 |
精度(μm) | ‐ | ±1 | ±1 |
材料 | aluminum body,steel bearing | ||
