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武汉珺瑜测控技术有限公司
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RT500AS高精度气浮转台

RT500AS高精度气浮转台

产地：比利时

▪ 直径500mm  

▪ 负载830kg  

▪ 角精度≤±1arcsec或±2.9arcsec可选

▪ 端跳＜100nm

▪ 径跳＜50nm

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产地：比利时

▪ 直径500mm  

▪ 负载830kg  

▪ 角精度≤±1arcsec或±2.9arcsec可选

▪ 端跳＜100nm

▪ 径跳＜50nm

RT500AS具有超高的速度稳定性，台面直径500mm，负载高达830Kg，端跳小于100nm，径跳小于50nm，是您寻找的具有卓越的运动性能、高刚度和高承载能力的旋转空气轴承平台的首选！RT-S系列的设计包含顶级空气轴承，电机和编码器，可实现出色的角度定位和速度稳定性。高分辨率编码器系统可实现最终稳定的定位和速度跟踪。大通孔便于滑环集成，光学或其他馈通。

应用领域：
•    计算机断层扫描
•    X-射线
•    超精密加工
•    激光加工
•    光学检查
•    半导体应用
•    医疗行业的测试系统
•    用于尺寸测量系统的运动轴
•    惯性导航
•    精密重力测量

产品规格

 Rotary Stage RT500AS                                                                                                                                     

Max. axial load 最大轴负载

830Kg

Max. radial load 最大侧向负载

257Kg

Axial stiffness 轴刚性

1660 N/μm

Radial stiffness 侧向刚性

514 N/μm

Tilt stiffness 摇摆刚性

37,4 Nm/µrad

Radial error motion 端跳误差

< 100 nm LSC

Axial error motion 轴误差

< 50 nm LSC

Resolution分辨率

<0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×）

Repeatability重复精度

<0.5 arcsec 或者2倍分辨率

Air consumption 耗气量

< 100 Nl/min

Total mass 重量

175 kg

Encoder 编码器

47200 periods

Nominal torque 标称扭矩

3,0 Nm

Peak torque 峰值扭矩

9,0 Nm

Max. speed 最大速度

60 rpm

Angular accuracy 角精度

±1arcsec或±2,9 arcsec可选

Material 材料

stainless steel


产品尺寸






运动控制
该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环，自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外，图形用户界面将设置时间降至最低。