服务热线:18086051405
邮箱:sales@ulabsystem.com


武汉珺瑜测控技术有限公司
RT150AS高精度气浮转台

RT150AS高精度气浮转台

产地:比利时

▪ 直径150mm  

▪ 负载43kg  

▪ 角精度≤±6.9arcsec

▪ 端跳<100nm

▪ 径跳<50nm

0.00
0.00
  

产地:比利时

▪ 直径150mm  

▪ 负载43kg  

▪ 角精度≤±6.9arcsec

▪ 端跳<100nm

▪ 径跳<50nm

RT150AS中档旋转平台具有出色的承载能力和低误差运动性能。台面直径150mm,轴向负载43.4Kg,端跳<100nm,径跳小于50nm,同时具有超高的速度稳定性。低高度和大通孔使该旋转平台成为所有测量和检测任务的全方位解决方案。RT-S系列的低调设计包含顶级空气轴承,电机和编码器,可实现出色的角度定位和速度稳定性。大通孔便于滑环集成,光学或其他馈通。

应用领域:
•    计算机断层扫描
•    X-射线
•    超精密加工
•    激光加工
•    光学检查
•    半导体应用
•    医疗行业的测试系统
•    用于尺寸测量系统的运动轴
•    惯性导航
•    精密重力测量

产品规格

Rotary Stage RT150AS
Max. axial load 最大轴负载 43.4 Kg
Max. radial load 最大侧向负载 22.6 Kg
Axial stiffness 轴刚性 217 N/μm
Radial stiffness 侧向刚性 113 N/μm
Tilt stiffness 摇摆刚性 455 Nm/mrad
Radial error motion 端跳误差 < 100 nm LSC
Axial error motion 轴误差 < 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec,取决于细分比(4× ~ 20000×)
Repeatability重复精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗气量 < 10 Nl/min
Total mass 重量 4,0 kg
Encoder 编码器 23600 periods
Nominal torque 标称扭矩 0,45 Nm
Peak torque 峰值扭矩 1,35 Nm
Max. speed 最大速度 200-800 rpm
Angular accuracy 角精度 6,9 arcsec
Material 材料 coated aluminium


产品图片

尺寸图


















































































运动控制

该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环,自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外,图形用户界面将设置时间降至最低。