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武汉珺瑜测控技术有限公司
RT250AS高精度气浮转台
    发布时间: 2019-08-12 08:45    

产地:比利时

▪ 直径250mm  

▪ 负载80kg  

▪ 角精度≤±1arcsec或±4arcsec可选

▪ 端跳<100nm

▪ 径跳<50nm

RT250AS高精度气浮转台

RT250AS具有超高的速度稳定性,端跳小于100nm,径跳小于50nm,负载可达80Kg,是您寻找的具有卓越的运动性能、高刚度和高承载能力的旋转空气轴承平台的首选!RT-S系列的设计包含顶级空气轴承,电机和编码器,可实现出色的角度定位和速度稳定性。高分辨率编码器系统可实现最终稳定的定位和速度跟踪。大通孔便于滑环集成,光学或其他馈通。

应用领域:
•    计算机断层扫描
•    X-射线
•    超精密加工
•    激光加工
•    光学检查
•    半导体应用
•    医疗行业的测试系统
•    用于尺寸测量系统的运动轴
•    惯性导航
•    精密重力测量


产品规格


Rotary Stage RT250AS
Max. axial load 最大轴负载 804 N
Max. radial load 最大侧向负载 452 N
Axial stiffness 轴刚性 402 N/μm
Radial stiffness 侧向刚性 226 N/μm
Tilt stiffness 摇摆刚性 2380 Nm/mrad
Radial error motion 端跳误差 < 100 nm LSC
Axial error motion 轴误差 < 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec,取决于细分比(4× ~ 20000×)
Repeatability重复精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗气量 < 15 Nl/min
Total mass 重量 16,5 kg
Encoder 编码器 40000 periods
Nominal torque 标称扭矩 1,5 Nm
Peak torque 峰值扭矩 4,5 Nm
Max. speed 最大速度 120 rpm
Angular accuracy 角精度 4,0 arcsec
Material 材料 coated aluminium


尺寸






















































































运动控制

该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环,自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外,图形用户界面将设置时间降至最低。