低温音圈致动器（CVCA）是用于低温操作的电磁线性力致动器。全焊接钛合金结构具有集成的电源馈通引脚，将线圈密封起来，使其也与UHV兼容。音圈致动器的非接触特性使其特别适合要求在整个行程上平稳精确定位的应用，或晶圆探测等使用寿命长的应用。