高精度五轴激光加工位移台采用欧洲先进的气浮技术，XY轴平面式气浮结构，Z轴交叉滚柱结构，同时集成AB旋转轴，用于半导体加工、检测、微纳加工等行业。采用绝对线性编码器，拥有亚微米精度的高动态平面空气轴承。
主要特点
▪五轴联动结构
▪2D、2.5D和3D精密激光加工
▪图形化操作界面，支持多种格式CAD文件直接上传和再设计
▪可集成主流品牌激光器
▪多种模式激光脉冲同步控制
▪支持无限视场技术Infinite Field of View
▪支持XY21-100和SL2-100等协议振镜
▪支持对振镜的Calibration和Field Flattening
▪支持对Camera的Autofocus和Alignment
产品主要技术指标
全气浮5轴联动运动控制系统包括Planar XY轴，AB旋转轴，Z轴，5轴控制器(含Pulse on Demand功能)，激光微加工操作软件。1.1、气浮轴承, X轴/Y轴的行程≥300 mm；1.5、直线度/平面度≤±0.5 µm, 300*300 mm范围内XY的整体平面度≤±1 µm；1.6、Pitch/Roll/Yaw≤±5 µrad；2.2、A轴/B轴端跳≤50nm；A轴/B轴径跳≤100nm；4.2、支持与激光脉冲基于位置同步的Pulse on Demand功能；5.3、兼容主流振镜和camera, 并内置校准等功能基于气浮轴承的5轴联动运动控制系统，经过专门的设计和优化，结合了高动态和高精度，并根据加工任务，可以集成一个或多个激光器和振镜系统。通过C轴和A轴两个旋转单元，以及高性能连续路径控制，该系统可以完美实现2.5D、3D和自由曲面加工 。同时，视加工精度的实际需求，所有5轴包括龙门均可提供机械轴承系统选配，确保客户在实际预算内获得最理想的配置与性能。视实际加工需求, 控制器系统兼容市场上主流的超快激光器和振镜系统。
定制设计和工程支持
我们提供一系列标准产品，但其他尺寸或其他应用也是可能的。我们可以灵活地设计XY平台，门架，Z平台或其组合。欢迎联系我们获取定制解决方案！
