PL100平面载物台有两个轴，都悬浮在同一基础花岗岩上。因此，上轴空气轴承不会像堆叠设置那样悬浮在下轴上，而是直接悬浮在基础花岗岩上。两个轴可以彼此独立移动，并且两个轴之间没有机械耦合。主要优点是刚度加倍，精度提高。XY运动平台高速移动，仅悬浮在精密花岗岩底座上方的微米处。无论有无负载，它都能提供动态、平稳和可重复的运动。

主要特点

•    行程 100 x 100 mm

•    亚微米精度的高动态平面空气轴承

•    花岗岩龙门架，精度最高

•    绝对线性编码器

完美的解决方案
•    高性能扫描
•    光学检测系统
•    超精密磨削和铣削
•    光伏系统
•    医疗系统
•    X-射线
•    激光加工
•    半导体行业

•    晶圆处理

产品规格

定制设计和工程支持
我们提供一系列标准产品，但其他尺寸或其他应用也是可能的。我们可以灵活地设计XY平台，门架，Z平台或其组合。欢迎联系我们获取定制解决方案！