珺瑜测控_产品展示_定制化多轴气浮运动台

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武汉珺瑜测控技术有限公司

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五轴联动激光加工位移台

定制化多轴气浮运动台

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▪原产国：比利时▪气浮轴承或气浮+机械轴承混合▪XY行程300mm – 600mm▪负载50kg – 150kg▪可集成旋转A轴和B轴实现5轴联动▪定位精度 < ± 0.5um▪重复定位精度 < ± 0.1um▪平面度全行程内 < 1um▪直线度全行程内 < 1um
平面式气浮运动台Planar Stages

定制化多轴气浮运动台

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产地：比利时 ▪空气轴承给出的运动平坦度 ▪在θ中无限旋转▪双Z集成：用于装载/卸载的粗行程和用于焦点调整的精细行程▪Z轴重力补偿器▪可通过移动 Y1 和 Y2 电机来完成偏航校正▪可与主动隔离系统进一步集成▪X 和 Y 的行程可以延长，但对性能有一些限制
XY龙门结构位移台

定制化多轴气浮运动台

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▪原产国：比利时▪气浮轴承或气浮+机械轴承混合▪XY行程300mm – 600mm▪负载50kg – 150kg▪可集成Z轴升降功能▪定位精度 < ± 0.5um▪重复定位精度 < ± 0.1um▪平面度全行程内 < 1um▪直线度全行程内 < 1um
4轴龙门结构--直线位移台+旋转台

定制化多轴气浮运动台

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▪原产国：比利时▪整体长度2.4m▪行程1000mm▪水平直线度±0.4um▪垂直直线度±0.4um▪最小运动量0.1um▪俯仰±2urad▪翻滚±3urad▪摇摆±3urad
PL100龙门气浮位移台

定制化多轴气浮运动台

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产地：比利时▪ 行程100 x 100 毫米▪ 移动平台尺寸250 x 250 毫米▪ 负载能力30 公斤▪ 速度1 米/秒▪ 加速度10 米/秒²▪ 编码器分辨率1 纳米▪ 重复性0.1 微米▪ 精度 X± 0.3 μm▪ 精度 Y± 0.3 μm▪ 平整度± 0.3 μm▪ XY组合平面度± 1μm▪ 直线度 X ， Y± 0.3μm▪ XY 正交性10 urad▪ pitch/yaw/roll:± 3urad/± 3urad/± 3urad
PL300龙门气浮位移台

定制化多轴气浮运动台

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产地：比利时▪ 行程300 x 300 毫米▪ 移动平台尺寸250 x 250 毫米▪ 负载能力30 公斤▪ 速度1 米/秒▪ 加速度10 米/秒²▪ 编码器分辨率1 纳米▪ 重复性0.1 微米▪ 精度 X± 0.4μm▪ 精度 Y± 0.4μm▪ 平整度± 0.5μm▪ XY组合平面度± 1 μm▪ 直线度 X ， Y± 0.5 μm▪ XY 正交性10 urad▪ pitch/yaw/roll:± 5urad/± 5urad/± 5urad

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