该平台是一个专用于步进和扫描应用的混合平面机械/空气轴承平台。它是一个在 X、Y、Z 和 Theta 方向上移动的 6 轴平台。整个行程中的动态平坦度以及双向可重复性是关键参数。该平台目前用于：

• 晶圆工艺控制应用，如临界尺寸和薄膜计量。

• 晶圆划线

• 晶圆激光热退火

它还可用于生产线后端光刻机（掩模对准器）和某些晶圆切割应用。

该平台具有以下特点：

• 空气轴承给出的运动平坦度

• 在θ中无限旋转

• 双Z集成：用于装载/卸载的粗行程和用于焦点调整的精细行程

• Z轴重力补偿器

• 可以通过稍微移动 Y1 和 Y2 电机来完成偏航校正

• 可与主动隔离系统进一步集成

• X 和 Y 中的行程可以延长，但对性能有一些限制

主要规格