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▪原产国:比利时
▪整体长度2.4m
▪行程1000mm
▪水平直线度±0.4um
▪垂直直线度±0.4um
▪最小运动量0.1um
▪俯仰±2urad
▪翻滚±3urad
▪摇摆±3urad
这个定制开发的XXZƟ-motion系统长2.4米,包含两个水平气浮工作台,每个工作台的行程为1米。它们都在同一个花岗岩底座上运行,保证了完美的排列。在一个水平气浮台上,建立一个垂直气浮台,容纳一个标准的RT150S空气轴承旋转台。所有轴都可以用我们的运动控制器或商用控制器驱动和同步。
主要特点
• 行程 1000 mm
• 亚微米精度的高动态平面空气轴承
• 花岗岩龙门架,精度最高
• 绝对线性编码器
完美的解决方案• 高性能扫描• 光学检测系统• 超精密磨削和铣削• 光伏系统
• 医疗系统• X-射线• 激光加工• 半导体行业
• 晶圆处理
产品规格
定制设计和工程支持我们提供一系列标准产品,但其他尺寸或其他应用也是可能的。我们可以灵活地设计XY平台,门架,Z平台或其组合。欢迎联系我们获取定制解决方案!