真空线性平台 （VLS） 是一款长行程线性真空位移平台，行程为 350 mm，采用紧凑坚固的封装。柔形滑块的实施与定义的预紧力相结合具有许多好处，例如在其整个生命周期内始终如一的高重复性、最小的驱动摩擦和高分辨率。VLS 配备直接驱动电机和编码器反馈，可在真空环境中以高精度到达所需位置。