RT150AU这款同类最佳的超精密旋转平台，具有超低误差运动（低于20 nm）和世界一流的运动性能，台面直径150mm，负载可达72.6Kg。无与伦比的设计融合了无与伦比的精度和准确性。如惯性导航、圆度测量系统、微观和纳米层析成像、超精密制造、半导体行业、医疗和研究设备等。

应用领域：
•    计算机断层扫描
•    X-射线
•    超精密加工
•    激光加工
•    光学检查
•    半导体应用
•    医疗行业的测试系统
•    用于尺寸测量系统的运动轴
•    惯性导航
•    精密重力测量

产品规格

Rotary Stage RT150AU
Max. axial load 最大轴负载	726 N
Max. radial load 最大侧向负载	264 N
Axial stiffness 轴刚性	242 N/µm
Radial stiffness 侧向刚性	88 N/µm
Tilt stiffness 摇摆刚性	204 Nm/mrad
Radial error motion 端跳误差	< 20 nm LSC
Axial error motion 轴误差	< 20 nm LSC
Resolution分辨率	<0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×）
Repeatability重复精度	<0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗气量	< 20 Nl/min
Total mass 重量	15,2 kg
Encoder 编码器	23600 periods
Nominal torque 标称扭矩	0,5 Nm
Peak torque 峰值扭矩	1,5 Nm
Max. speed 最大速度	200 rpm
Angular accuracy 角精度	6,9 arcsec
Material 材料	stainless steel

运动控制
该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环，自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外，图形用户界面将设置时间降至最低。