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RT075AS高精度气浮转台

RT075AS高精度气浮转台

产地：比利时

▪ 直径75mm  

▪ 负载13.7kg  

▪ 角精度≤±13.8arcsec

▪ 端跳＜100nm

▪ 径跳＜50nm

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产地：比利时

▪ 直径75mm  

▪ 负载13.7kg  

▪ 角精度≤±13.8arcsec

▪ 端跳＜100nm

▪ 径跳＜50nm

RT075AS可提供所有精度和灵活性，台面直径75mm，负载13.7kg，端跳＜100nm，径跳＜50nm，并以高度微型化的设计捕获该技术。这款新型旋转平台更轻巧，更紧凑。低高度和大通孔使该旋转平台成为所有测量和检测任务的全方位解决方案。RT-S系列的低调设计包含顶级空气轴承，电机和编码器，可实现出色的角度定位和速度稳定性。大通孔便于滑环集成，光学或其他馈通。

应用领域：
•    计算机断层扫描
•    X-射线
•    超精密加工
•    激光加工
•    光学检查
•    半导体应用
•    医疗行业的测试系统
•    用于尺寸测量系统的运动轴
•    惯性导航
•    精密重力测量


产品规格

Rotary Stage RT075AS
Max. axial load 最大轴负载

13.7 Kg

Max. radial load 最大侧向负载 5.1 Kg
Axial stiffness 轴刚性 68 N/µm
Radial stiffness 侧向刚性 25 N/µm
Tilt stiffness 摇摆刚性 33 Nm/mrad
Radial error motion 端跳误差 < 100 nm LSC
Axial error motion 轴误差 < 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×）
Repeatability重复精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗气量 < 4 Nl/min
Total mass 重量 0,6 kg
Encoder 编码器 11840 periods
Nominal torque 标称扭矩 0,04 Nm
Peak torque 峰值扭矩 0,13 Nm
Max. speed 最大速度 300 rpm
Angular accuracy 角精度 13,8 arcsec
Material 材料 coated aluminium

产品图片











































































































运动控制
该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环，自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外，图形用户界面将设置时间降至最低。